仓壁振动器叉指电极(IDE)的柔性电路板和环氧树脂粘结层。仓壁振动器所用的IDE交叉电极是刻在聚酰亚胺薄膜上的,聚酰亚胺薄膜起到载体和绝缘的作用。这种柔性电路板是采用高精度的光刻技术制备,IDE中导电线路材料采用的是铜箔。铜箔的柔韧性很好,可以保证仓壁振动器具有较好的耐久性。
仓壁振动器用环氧树脂胶将压电纤维复合层封装在上下电极板之间。上下电极板的交叉线路保持镜面对称,也就是线路保持完全重合,再经过真空热压处理,压力约为4MPa,温度设置在60℃,抽真空4h,最终得到仓壁振动器。
因为仓壁振动器的压电纤维之间由聚合物连接,增加了材料整体的柔韧性,使封装过程变得简单方便。该方法更容易控制仓壁振动器、易于批量生产,且能保证产品性能的一致性。
用陶瓷制备的仓壁振动器的性能稳定, 抗老化能力强,使用温度范围较宽。我们将迟滞性量化定义为零电压位置对应的纵向应变的差值与总的纵向应变之比。迟滞性越大,所测样品的机电转换能力越差;迟滞性越小,所测样品的机电转换能力越强。在本实验测试条件下,我们得到仓壁振动器产生的电压-应变的迟滞为33%。结果表明,仓壁振动器具有较强的机电转换能力。
|